Методические указания предназначены для студентов кафедры физики твердого тела и направлены на освоение метода резерфордовского обратного рассеяния и на развитие практических навыков определения из спектров об-ратного рассеяния состава гомогенных, гетерогенных и слоистых тонкопленочных систем, имеющих важное практическое значение в материаловедении и микроэлектронике. Пособие состоит из 5 лабораторных работ и рассчитано на 30 часов самостоятельной работы.